Forskjell mellom versjoner av «TFE4225 - MEMS-design»
Fra Nanowiki
m (TFE4225 flyttet til TFE4225 - MEMS-design) |
|||
| Linje 1: | Linje 1: | ||
{{Infobox |
{{Infobox |
||
| − | |Fakta høst |
+ | |Fakta høst 2008 |
| − | |*Foreleser: |
+ | |*Foreleser: Ralph W. Bernstein |
*Stud-ass: ??? |
*Stud-ass: ??? |
||
*Vurderingsform: Skriftlig eksamen |
*Vurderingsform: Skriftlig eksamen |
||
| − | *Eksamensdato: |
+ | *Eksamensdato: 11. desember |
}} |
}} |
||
{{Infobox |
{{Infobox |
||
| − | |Øvingsopplegg høst |
+ | |Øvingsopplegg høst 2009 |
|* Antall godkjente: ??/?? |
|* Antall godkjente: ??/?? |
||
* Innleveringssted: ??? |
* Innleveringssted: ??? |
||
Revisjonen fra 13. mai 2009 kl. 15:03
|
Fakta høst 2008
|
|
Øvingsopplegg høst 2009
|
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.
