TFE4225 - MEMS-design
|
|
Innhold
Om emnet
Faglig innhold
Anbefalte forkunnskaper
Halvlederteknologi, Faste stoffers fysikk og et fysikkurs med mekanikk.
Erfaringer
Veldig bra fag, mye pensum å forberede seg i, noen øvinger kompliserte. Muntlig eksamen er på 40min og man kan bli testet i alt.
NTNUs emnebeskrivelse
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.
