TFE4225 - MEMS-design
|
|
Innhold
Om emnet
Faglig innhold
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.
Anbefalte forkunnskaper
Halvlederteknologi, Faste stoffers fysikk og et fysikkurs med mekanikk.
Erfaringer
Veldig bra fag, mye pensum å forberede seg i, noen øvinger kompliserte. Muntlig eksamen er på 40min og man kan bli testet i alt.
