TFE4225 - MEMS-design
Fra Nanowiki
|
Fakta høst 2008
|
|
Øvingsopplegg høst 2009
|
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.
