Vis kilden til TFE4225 - MEMS-design

{{Infobox
|
|*'''Institutt''': 
*'''Vurderingsform:''':
*'''Hjelpemiddelkode''': 
*'''Øvingsopplegg''':
}}


== Om emnet ==

=== Faglig innhold ===

=== Anbefalte forkunnskaper ===
[[Halvlederteknologi]], [[Faste stoffers fysikk]] og et fysikkurs med mekanikk.

=== Erfaringer===
Veldig bra fag, mye pensum å forberede seg i, noen øvinger kompliserte. Muntlig eksamen er på 40min og man kan bli testet i alt.

=== NTNUs emnebeskrivelse ===
''En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.''

== Lenker ==

=== NTNUs sider om emnet ===
*[http://www.ntnu.no/studier/emner/TFE4225/2014#tab=omEmnet Emnebeskrivelse]

=== Læringsressurser ===

=== Emnerapporter og referansegrupperrapporter ===

[[Kategori:Valgbare emner]]
[[Kategori:Fag 7. semester]]
[[Kategori:Fag]]