X-Ray Photon Spectroscopy

Kvalitativ analyse av sekundære elektroner som kommer fra prøven når man sender røntgenstråling på. Røntgenstrålene absorberes av atomene, og fører til at elektroner blir "dyttet" ut av prøven. Energien elektronene kommer ut med er avhengig av den initielle bindingsenergien og energien til røntgenstrålene. XPS er dermed sensitiv til ikke bare den kjemiske sammensetningen, men også til bindingsstrukturen. De sekundære elektronene kommer fra bare noen få atomlag under overflaten, XPS er dermed ekstremt sensitiv til kjemiske forandringer på overflaten. Siden røntgenstråler ikke kan fokuseres får man ingen romlig oppløsning ved XPS.

Siden dette er en overflateteknikk må prøven være fri for forurensing. XPS må altså gjøres i ultrahøyt vakuum (<math>10^{-8} Torr</math>). Prøven er som regel "rensket" med sputtering først.

Denne metoden er brukt for studier av adsorpsjon av gass eller katalyse med monolag.