Forskjell mellom versjoner av «TFE4225 - MEMS-design»

Fra Nanowiki
Hopp til: navigasjon, søk
Linje 1: Linje 1:
 
{{Infobox
 
{{Infobox
|Fakta høst 2008
+
|Fakta høst 2009
 
|*Foreleser: Ralph W. Bernstein
 
|*Foreleser: Ralph W. Bernstein
*Stud-ass: ???
 
 
*Vurderingsform: Skriftlig eksamen
 
*Vurderingsform: Skriftlig eksamen
*Eksamensdato: 11. desember
+
*Eksamensdato: 10. desember
 
}}
 
}}
   
 
{{Infobox
 
{{Infobox
 
|Øvingsopplegg høst 2009
 
|Øvingsopplegg høst 2009
|* Antall godkjente: ??/??
+
|* Antall godkjente: 6/6
* Innleveringssted: ???
+
* Innleveringssted: Kjeller El-bygget
* Frist: ???
+
* Frist: Hver andre uke, mandag kveld
 
}}
 
}}
   

Revisjonen fra 5. okt. 2009 kl. 12:34

Fakta høst 2009

  • Foreleser: Ralph W. Bernstein
  • Vurderingsform: Skriftlig eksamen
  • Eksamensdato: 10. desember

Øvingsopplegg høst 2009

  • Antall godkjente: 6/6
  • Innleveringssted: Kjeller El-bygget
  • Frist: Hver andre uke, mandag kveld

En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.

Eksterne linker