Forskjell mellom versjoner av «TFE4225 - MEMS-design»
Fra Nanowiki
Linje 1: | Linje 1: | ||
{{Infobox |
{{Infobox |
||
− | |Fakta høst |
+ | |Fakta høst 2009 |
|*Foreleser: Ralph W. Bernstein |
|*Foreleser: Ralph W. Bernstein |
||
− | *Stud-ass: ??? |
||
*Vurderingsform: Skriftlig eksamen |
*Vurderingsform: Skriftlig eksamen |
||
− | *Eksamensdato: |
+ | *Eksamensdato: 10. desember |
}} |
}} |
||
{{Infobox |
{{Infobox |
||
|Øvingsopplegg høst 2009 |
|Øvingsopplegg høst 2009 |
||
− | |* Antall godkjente: |
+ | |* Antall godkjente: 6/6 |
− | * Innleveringssted: |
+ | * Innleveringssted: Kjeller El-bygget |
− | * Frist: |
+ | * Frist: Hver andre uke, mandag kveld |
}} |
}} |
||
Revisjonen fra 5. okt. 2009 kl. 12:34
Fakta høst 2009
|
Øvingsopplegg høst 2009
|
En innføring i mikro- og nanofabrikasjon med fokus på silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Grunnleggende mekanikk for konstruksjon av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, termisk, piezoelektrisk og optisk prinsipp vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer slik som trykksensorer, akselrometre, gyroskoper og gassensorer vil gjennomgås i detalj. I tillegg vil optiske, termiske, kjemiske og biologiske sensorer og aktuatorer og deres anvendeleser diskuteres.