NTNU Nanolab
Om Nanolab
NTNU Nanolab ble opprettet i 2004 for å fremme nanoteknologi på NTNU, i et samarbeid mellom fem fakulteter: Fakultet for naturvitenskap og teknologi (NT), Fakultet for informasjonsteknologi, matematikk og elektroteknikk (IME), Fakultetet for ingeniør vitenskap (IVT), Det medisinske fakultet (DMF) og Det humanistiske fakultet (HF). De drifter NTNUs renrom som ble bygget i 2006, i en storsatsing for nanoteknologi.
Avdelingsdirektør for Nanolab er Dr. Kay Gastinger.
Nanolabs renrom
Renrommet til nanolab, som ligger i kjelleren i kjemiblokk 1, er Norges mest vibrasjonsfrie rom. Laben består av to deler, en med renhetsgrad ISO 7, og en med ISO 5.
Renrommet blir i dag brukt av mastergradsstudenter og forskjellige forskningsgrupper, som SINTEF og andre bedrifter med avtale med Nanolab.
Utstyr
Characterization
- AFM, Nanosurf
- AFM, Nanosurf Flex
- AFM, Veeco
- DIC microscope
- Focused Ion Beam (FIB) Dual Beam SEM
- Nanosight
- Particle Size Analyzer
- Profilometer
- Reflectometer
- S(T)EM
- Scanning Electrochemical microscope (SECM)
- SEM (Table Top)
- Stereomicroscope
- STM, Nanosurf
- Yellow Light Microscope
Thermal Processes
- Rapid Thermal Processing (RTP) Oven
- Calcination (gold) Furnace
- Drying Ovens
- Microwave Oven
- Autoclaves
Lithography
- Electron Beam Lithography (EBL)
- Photolithography with maskaligner EVG620, MA6 and MJB3
- Nanoimprinting with EVG620 and MA6 SCIL
- Soft lithography
Deposition
- Carbon Coater for SEM sample preparation
- Dip Coaters
- E-Beam Evaporator
- PECVD
- Thermal chemical vapor deposition (T-CVD)
- Spin Coaters
- Sputter Coater and Thermal Evaporator
- Sputter Coater for SEM sample preparation
- Langmuir-Blodgett trough
Etching, dry and wet
- HF-fumehood
- Inductive Coupled Plasma Reactive Ion Etch (ICP-RIE)
- Plasma Cleaner
- UV Ozone cleaner
Other
- Autoclaves
- Glove Boxes
- Heidolph rotary evaporators
- Laminar Air Flow Benches
- PDMS area
- Safety bench
- Sartorius Analytical Balances
- Sartorius Precision Balances
- Dicing Saw
- Scriber
- Surface Plasmon Resonance
- Ultracentrifuge
- Ultrasound Desintegrator
- Wire Bonder
- WTW pH-meter
Spesifikasjon av utstyret kan du finne her.
Studenter med tilgang til nanolab har mulighet til å reservere labratorieutstyret man trenger til prosjekt- og masteroppgave.
Bruk av renrommet
Renrommet blir brukt av studenter ved MTNANO ved flere omstendigheter. Allerede i andre klasse blir nanolab brukt i emnet Halvleder gjennom labkurset. Senere får de fleste tilgang til renrommet under prosjekt- og masteroppgave.
Lenker
- Kontakt: nanolab@ntnu.no