Deponeringsteknikker

Liquid Phase Deposition

Liquid Phase Deposition (LPD) er en teknikk for å deponere tynnfilmer på substrater. Som navnet antyder bruker denne teknikken en væskefase i kontakt meed substratet, og deponeringen skjer ved hjelp av kjemiske reaksjoner.

De termodynamiske kreftene som driver LPD kommer fra at løselighetsprodukter generelt synker for lavere temperaturer. Man kan dermed lage en mettet løsning av stoffene som skal deponeres, for deretter å senke temperaturen i løsningen gradvis. På denne måten kan man få en kontrollert utfelling som legger seg som en tynnfilm på substratet.